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晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术

2020-07-14 责任编辑:未填 浏览数:未显示 中贸商网-贸易商务资源网

核心提示:晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术晶圆研磨机-OKAMOTO冈本GNX200B特点:GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术。一台设备同时实

晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术

晶圆研磨机-OKAMOTO冈本GNX200B特点:
·GNX200B拥有BG贴膜研磨专利技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。
·耗材损耗小,成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。
 
OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机规格:
规格             GNX200B     GNX300B
-大加工直径     Ф200     Ф300
轴承旋转数     0~3600min-1     0~3000min-1
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P     5.5/4 Kw/P
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数             2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸(外径)    Ф250     Ф300
质量             3900mm     5700mm
 
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衡鹏供应
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