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经检查,测温元件到温度检测仪的屏蔽电缆和动力电缆共用一个电缆槽,我们怀疑波动是为动力电产生的磁场对信号的干扰产生的,随即把这段屏蔽电缆进行了更换架空,效果明显,但温度显示还是有5℃左右的波动。我们知道,温度是线形变化的,而波动还毫无规律,实际温度不能变化这么快,一定还有干扰源。
(2)经分析,屏蔽电缆已更换,线路上没有问题,有可能是因为屏蔽线接地不好,起不到屏蔽的作用。我们更换了接地点,把所有温度检测仪的外壳也做了接地,有一定的效果,但还是没有达到理想的状态。
(3)由于我们用的是四路温度检测仪,而我们有两个温度检测仪只用了一路,另外三个温度检测仪用了两路,其他没用的信号输入端是空着的,可能对输入信号有影响。我们把空着的A、B、C三线输入端分别短接后,温度显示值非常稳定,只有0.1℃的变动。
TOKYO ELECTRON 5110-200987-11
JDS UNIPHASE VA4503-FAS
BROOKS-PRI AUTOMATION 001-2980-13
Applied Materials (AMAT) 0021-90439
JDS UNIPHASE VA4503-SCU
Applied Materials (AMAT) 3420-01097
Varian-Eaton C310099
Applied Materials (AMAT) 0140-09215
Applied Materials (AMAT) 0100-09011
Applied Materials (AMAT) EPI 670707
Strasbaugh 220701 Deublin 9311-150
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Tegal Corp 40-275-001
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Keithley 7001 SWITCH SYSTEM, SERIAL NUMBER 515120
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Applied Materials (AMAT) 0140-77557
Applied Materials (AMAT) 0190-09469
FSI International-Yieldup 102304-01