洁净室检测

洁净室检测

对于洁净室洁净程度的维持和控制，除了硬件设备配合投资外，也需要良好的洁净室检测软件-管理制度来配合，方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源，经测试分析结果，作业人员占约80%。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因，人是主要因素。

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的缔造和运用应削减室内诱入、发生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行操控。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限制空间。它的缔造和运用应削减空间内诱入、发生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行操控。洁净区可以是开放式或封闭式。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度，含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的详细高低则是用空气洁净度等级来区分的，而这种等级又是用操作时刻内空气的计数含尘浓度来表明，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超越另一个高的含尘浓度止这一个含尘浓度规模为某一个空气洁净度等级。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺度规模在0.1-5μm的固体和液体粒子。

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